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    如何產(chǎn)出高質(zhì)量的半導(dǎo)體超純水?

    2022-12-07

      超純水的產(chǎn)生是應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當?shù)某R界精細技術(shù)所生產(chǎn)出來一種水。這種水不僅可以應(yīng)用在電子行業(yè),在半導(dǎo)體行業(yè)中也是應(yīng)用較多。

      在半導(dǎo)體加工過程中,需要大量的超純水,傳統(tǒng)的超純水制備方法主要有蒸餾法和離子交換法。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展,對清洗水的電導(dǎo)性、離子含量、TOC、DO、Particles要求也越來越嚴格,傳統(tǒng)的制備方法如今逐漸不在適用該產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)需求了。

      由于半導(dǎo)體用超純水對多項指標的高要求,所以在半導(dǎo)體行業(yè),超純水不同于其他行業(yè)對水的要求,半導(dǎo)體行業(yè)對超純水有極為嚴格的水質(zhì)要求。

    超純水設(shè)備

      半導(dǎo)體行業(yè)超純水質(zhì)量會有哪些要求?

      半導(dǎo)體所用的超純水需要達到的水質(zhì)標準為:我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術(shù)標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準),我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準,國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標準等。

      如何產(chǎn)出高質(zhì)量的半導(dǎo)體超純水?

      建議采用“兩級RO+EDI+精混床除鹽水處理工藝”這類的超純水設(shè)備,可保證處理后的水電阻和電電阻達到18MΩ.CM以上。該出了采用以上工藝外,結(jié)構(gòu)設(shè)計也需要相對緊湊,這樣一來占地面積小可為企業(yè)節(jié)省大量建設(shè)空間。這種半導(dǎo)體超純水設(shè)備出廠前都是需進行壓力測驗的,所以出現(xiàn)故障概率小。還可以還配備了反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),再次從根本上確保了水處理設(shè)備的出水質(zhì)量。

      以上,就是關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)所需超純水相關(guān)問題的全部介紹了。感謝您的閱讀,我們下期不見不散!

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