工業(yè)超純水設(shè)備是專用于生產(chǎn)超純水的技術(shù)產(chǎn)品,它主要采用了雙級(jí)反滲透系統(tǒng)+EDI模塊的處理工藝,出水電阻率可達(dá)16 MΩ*cm(25℃)。反滲透系統(tǒng)中應(yīng)用了熱門的反滲透膜水處理技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)納米級(jí)物質(zhì)的有效分離,能充分截留超純水中需要被去除的有機(jī)物、細(xì)菌、金屬離子、懸浮物等物質(zhì)。這個(gè)處理過程無須化學(xué)反應(yīng)助劑,可以在物理?xiàng)l件下穩(wěn)定進(jìn)行,具有分離效果好、無污染、無相變的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。
EDI模塊可以實(shí)現(xiàn)超純水深度脫鹽,能使系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)帶電荷運(yùn)行,促使離子遷移速度加快,脫鹽效果更加突出。該模塊處理無污染物質(zhì)產(chǎn)生,更不會(huì)產(chǎn)生酸堿廢液,因此后續(xù)工藝中不需要再進(jìn)行酸堿中和處理,有效減少了環(huán)境污染,同時(shí)提高了產(chǎn)水效率。EDI進(jìn)水為二級(jí)反滲透產(chǎn)水,水質(zhì)較好,脫鹽后濃水水質(zhì)仍舊能夠優(yōu)于一級(jí)反滲透產(chǎn)水,可回流至一級(jí)反滲透產(chǎn)水箱。
工業(yè)超純水設(shè)備可以做到出水水質(zhì)穩(wěn)定、生產(chǎn)無污染、能耗低、運(yùn)行連續(xù)穩(wěn)定、自動(dòng)化運(yùn)行能力強(qiáng),它采用了PLC智能化程序,能靈活進(jìn)行操作,為超純水需求企業(yè)提供了可靠的技術(shù)支持。
工業(yè)超純水設(shè)備生產(chǎn)出的超純水中基本只會(huì)含有氫原子和氧原子兩種成分,是高純度的非飲用水,可以廣泛用于以下工業(yè)領(lǐng)域:
1. 硅晶圓清洗:硅晶圓是半導(dǎo)體生產(chǎn)的重要材料,其清潔程度對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響巨大,應(yīng)用超純水清洗硅晶圓能提高清潔度,保障產(chǎn)品質(zhì)量、降低報(bào)廢率;
2. 細(xì)菌營養(yǎng)液配置:在生物實(shí)驗(yàn)中,細(xì)菌培養(yǎng)是一項(xiàng)常見的實(shí)驗(yàn),采用超純水配置細(xì)菌培養(yǎng)的營養(yǎng)液不會(huì)干擾細(xì)菌的繁殖,基本對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果無任何影響。
除了以上兩大領(lǐng)域外,超純水還有其他廣泛的用途。因而,工業(yè)超純水設(shè)備還有巨大的投資價(jià)值有待開發(fā)。
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