超純水是一種接近高純度的水,其純凈度是我們?nèi)粘V泻鹊牡V泉水的4000倍,不過也正因?yàn)樗?ldquo;干凈”,它里面除了水分子外,幾乎沒有什么雜質(zhì)存在...(也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水)。它沒有細(xì)菌、病毒,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,所以看似純凈,卻并不適合飲用,而且超純水在自然界中基本是不存在的,想要獲取需要經(jīng)過一系列復(fù)雜的高科技工藝,才能生產(chǎn)制造出這種水。
超純水是一般工藝很難達(dá)到的程度,采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟,多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法,電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm。
預(yù)處理
包括砂濾、多介質(zhì)過濾、軟化、加氯、調(diào)節(jié)pH、活性碳過濾、脫氣等。過濾可除去1~20微米大小的顆粒,軟化和調(diào)節(jié)pH可防止反滲透膜結(jié)垢,加氯是為了殺菌。
脫鹽
反滲透是滲透現(xiàn)象的逆過程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側(cè)通過半透膜向稀溶液一側(cè)反向滲透,脫鹽可達(dá)98%,并能除去99%的細(xì)菌顆粒和溶解在水中的有機(jī)物。
精處理
超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過程中,水在壓力下流過一個卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10~200埃范圍內(nèi),薄膜厚度為0.1~0.5微米,附在一個中孔的纖維棒內(nèi)壁上,超濾能除去細(xì)菌和0.05微米的粒子。
如此復(fù)雜工藝生產(chǎn)出來的“超純水”,在半導(dǎo)體行業(yè)如今正在如火如荼的應(yīng)用著。超純水可作為芯片生產(chǎn)的清洗用水,直接影響著芯片的良品率,是十分重要的步驟之一。
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