超純水是保障電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵

　　據(jù)數(shù)據(jù)顯示，2021年全球半導(dǎo)體銷售額達(dá)到5559億美元，同比增長(zhǎng)26.2%;中國(guó)的銷售額為1925億美元，同比增長(zhǎng)27.1%，占全球份額的34.6%。更值得一提的是，2021年中國(guó)集成電路銷售額突破萬(wàn)億元，同比增長(zhǎng)18.2%，達(dá)到驚人的10458.3億元。

　　從上面這些數(shù)據(jù)不難看出，全球半導(dǎo)體行業(yè)，特別是中國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)，正處在一個(gè)爆發(fā)性增長(zhǎng)階段。這也意味著，氫氟酸等半導(dǎo)體化學(xué)品原材料的需求將會(huì)越來(lái)越大。電子級(jí)氫氟酸主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的清洗和刻蝕等工序，它的純度和潔凈度對(duì)集成電路的良品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。

　　雖然近幾年來(lái)我國(guó)電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)技術(shù)取得了重大突破，但要想反超美日德，仍還有很長(zhǎng)的路要走。一方面，要“緊盯”高品質(zhì)電子級(jí)氫氟酸制備的關(guān)鍵技術(shù)不撒手；而另一方面，則要“吃透”生產(chǎn)電子級(jí)氫氟酸的配套技術(shù)。

　　一般來(lái)說(shuō)，生產(chǎn)電子級(jí)氫氟酸的配套技術(shù)主要包括分析控制與產(chǎn)品檢測(cè)、超純水技術(shù)、包裝技術(shù)以及環(huán)境控制。而在這5種技術(shù)中，超純水是保障其良品率的關(guān)鍵。超純水既用于電子級(jí)氫氟酸的生產(chǎn)，又用于包裝容器的超凈清洗，其純度的高低直接決定著電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)品質(zhì)量。

　　超純水的生產(chǎn)離不開超純水設(shè)備。超純水設(shè)備設(shè)計(jì)采用成熟、可靠、高度自動(dòng)化的兩級(jí)ro+EDI+精混床除鹽水處理工藝，確保處理后的水電阻和電電阻達(dá)到18MΩ.CM以上。厘米該設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水，不會(huì)因樹脂再生而停止運(yùn)行。設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相對(duì)緊湊，占地面積小，可為企業(yè)節(jié)省大量空間。半導(dǎo)體超純水設(shè)備出廠前需進(jìn)行壓力試驗(yàn)。設(shè)備故障概率小，日常維護(hù)和維修操作非常簡(jiǎn)單。半導(dǎo)體超純水設(shè)備還配備了反滲透預(yù)脫鹽技術(shù)，再次從根本上確保了水處理設(shè)備的出水質(zhì)量。